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    一種微調探針座的制作方法

    文檔序號:45718394發布日期:2026-06-05 23:40閱讀:1來源:國知局

    本技術涉及電工,尤其涉及一種微調探針座。


    背景技術:

    1、探針卡是一種測試接口,主要用于晶圓測試階段,是半導體測試的關鍵組件。它的主要作用是將測試機的測試信號精準地傳輸到晶圓上的每個芯片的相應焊盤(或凸點)上,以此來實現對芯片的性能、功能等各項參數的測試,從而篩選出有缺陷的芯片,確保進入后續封裝階段的芯片質量。探針卡通常由基板、針卡和電子元件等部分組成,基板負責連接測試機和針卡,為信號傳輸提供通路;針卡上的探針是與芯片焊盤直接接觸的關鍵部件,其材質、形狀和排列方式會根據芯片的不同要求進行設計,以保證良好的電接觸和測試精度;電子元件則起到對信號進行處理和調整等作用。常見的探針卡類型有懸臂式探針卡、垂直探針卡、微機電系統(mems)探針卡等,不同類型的探針卡適用于不同尺寸、不同間距、不同測試需求的芯片,例如懸臂式探針卡適用于引腳間距較大的芯片測試,而垂直探針卡則更適合用于高密度、小間距的芯片測試。

    2、在電阻及微電路的激光修調、檢測等領域,在激光修調或阻值測量的過程中,通常需要使用探針卡與電阻產品中的踏點(測量點)緊密接觸,實現對電阻產品進行阻值測量;這需要精準的控制探針卡與電阻產品的相對位置,這包括三維坐標體系中的x、y、z三方向的相對位置,以及相對此三個方向的傾角(平行度),并在位置調整完畢后,實現穩定的將探針卡緊固好。而探針卡為損耗品,較容易磨損,需要定期更換,每次更換探針卡,都會將上述各方向的傾角重新調節一次,在沒有合適探針座工裝的情況下,非常費時費力,且難以實現精準調節。

    3、因此,本領域技術人員提供了一種微調探針座,以解決上述背景技術中提出的問題。


    技術實現思路

    1、本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點,而提出的一種微調探針座,操作簡單,可實現精準調節。

    2、為實現上述目的,本實用新型提供了如下技術方案:

    3、一種微調探針座,包括二號探針卡座,所述二號探針卡座內部靠下端固定設置有探針卡,所述二號探針卡座上端面四角處均設置有俯仰角度調節螺紋副和二號拉簧;

    4、所述二號探針卡座外部活動套設有三號探針卡座,所述三號探針卡座外部通過轉軸定位銷轉動設置有一號探針卡座,所述三號探針卡座和一號探針卡座上端之間固定連接有旋轉方向微調螺紋副。

    5、進一步地,所述二號探針卡座前后內側均通過多個螺栓螺紋固定設置有探針壓條。

    6、進一步地,所述一號探針卡座上端面固定設置有多個探針卡座壓塊。

    7、進一步地,所述旋轉方向微調螺紋副分為兩個連接塊,分別與三號探針卡座和一號探針卡座固定連接。

    8、進一步地,兩個連接塊之間固定設置有一號拉簧和小型電動伸縮桿。

    9、本實用新型具有如下有益效果:

    10、本實用新型提出的一種微調探針座,通過俯仰角度調節螺紋副和二號拉簧的組合設計,能夠精確控制探針卡的傾角,確保探針與芯片焊盤之間的接觸角度達到最佳狀態,從而提高測試的準確性,旋轉方向微調螺紋副和一號拉簧的配合使用,使得探針卡在更換后能夠快速恢復到最佳位置,減少了重新調整的時間和難度,探針壓條通過多個螺栓固定在二號探針卡座上,確保了探針卡在測試過程中的穩定性,防止探針在測試過程中發生位移或松動,轉軸定位銷的設計使得三號探針卡座與一號探針卡座之間的旋轉移動更加穩定,確保了調節過程中的精度和穩定性,本實用新型適用于各種類型的探針卡,如懸臂式探針卡、垂直探針卡和mems探針卡等,具有很高的通用性,由于探針卡為損耗品,需要定期更換,本實用新型的微調探針座設計使得在更換探針卡后,能夠快速、精準地重新調整探針卡的位置,減少了維護時間和成本,綜上所述,本實用新型通過其精準調節、操作簡便、結構穩定、適用范圍廣和維護方便等優點,有效解決了現有技術中存在的問題,提高了測試的準確性和效率,具有很高的實用價值。


    技術特征:

    1.一種微調探針座,包括二號探針卡座(7),其特征在于:所述二號探針卡座(7)內部靠下端固定設置有探針卡(5),所述二號探針卡座(7)上端面四角處均設置有俯仰角度調節螺紋副(6)和二號拉簧(10);

    2.根據權利要求1所述的一種微調探針座,其特征在于:所述二號探針卡座(7)前后內側均通過多個螺栓螺紋固定設置有探針壓條(4)。

    3.根據權利要求1所述的一種微調探針座,其特征在于:所述一號探針卡座(1)上端面固定設置有多個探針卡座壓塊(9)。

    4.根據權利要求1所述的一種微調探針座,其特征在于:所述旋轉方向微調螺紋副(3)分為兩個連接塊,分別與三號探針卡座(8)和一號探針卡座(1)固定連接。

    5.根據權利要求4所述的一種微調探針座,其特征在于:兩個連接塊之間固定設置有一號拉簧(2)和小型電動伸縮桿。


    技術總結
    本技術涉及電工技術領域,公開了一種微調探針座,包括二號探針卡座,所述二號探針卡座內部靠下端固定設置有探針卡,所述二號探針卡座上端面四角處均設置有俯仰角度調節螺紋副和二號拉簧;所述二號探針卡座外部活動套設有三號探針卡座,所述三號探針卡座外部通過轉軸定位銷轉動設置有一號探針卡座,所述三號探針卡座和一號探針卡座上端之間固定連接有旋轉方向微調螺紋副。本技術中,本技術的微調探針座通過其精準調節、操作簡便、結構穩定、適用范圍廣和維護方便等優點,有效解決了現有技術中存在的問題,提高了測試的準確性和效率,具有很高的實用價值。

    技術研發人員:屈江濤,孟祥南
    受保護的技術使用者:北京鋒速精密科技有限公司
    技術研發日:20250717
    技術公布日:2026/6/4
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